tumChiyowoyelo
Kunyumba - Vinthu - Munthu uyo ​​wa Semikondukitala - Kunyamura kwa Quartz - Dongosolo
Boti lakutozga Wafer wa Quartz

Boti lakutozga Wafer wa Quartz

Boti lakutozga ma wafer gha quartz ni chipangizo icho ŵakugwiliskira ntchito pakutozga ma wafer mu ndondomeko ya kupanga semiconductor.
Vinthu vyakupangika: 99.99% ya quartz

Itumirani mafumbo

Kulongosora

Vigaŵa

 

  • Kulimbana na kutentha kwapachanya
  • Kulimbana na dzimbiri
  • Kukana kuvwara
  • Ntchipusu kutozga

Gwiliskiranipo: kuwuskapo vyakufipiska vya pa charu

Woneseskani kuti vipangizo vya semiconductor vikupangika makora.

 

Kugwiliskira ntchito

1. Pambere-Kutozga Kuthandazgika

Iwo ŵakugwiliskira ntchito kunyamura ma wafers kwizira mu benchi yakunyeŵa panji kutozga mu maji (mwachiyelezgero, kutozga kwa RCA) kuti ŵawuskemo vyakumera, vya visulo, na vyakufipiska vichokovichoko pambere vindachitike pa msinkhu wapacanya -kuthandazgika panji ndondomeko ya oxidation.

2. Kutozga panyuma -CMP (Kupanga Makemiko)

Kugwira ma wafer pa nyengo ya post -kutozga kuti kuwuskepo vyakukhalapo vya slurry na viheni vya pa charu, kukhozgera kuti viŵe vyakuphapha makora pa ndondomeko zakulondezgapo za lithography.

3. Kunthazi -Kumapeto -kwa-Mzere (FEOL) Kupanga

Iwo ŵakugwiliskira ntchito mu vigaŵa vyakuzirwa vyakutozga vya FEOL apo malo ghakutowa gha ultra - ghakukhumbikwa kuti chipata cha oxide chikure, kuŵika epitaxial, panji kuŵika ion.

4. Kubwerera -Kumalizga-kwa-Mzere (BEOL) Kunozga

Iwo ŵakukhozgera ma wafer pa nyengo ya kutozga panyuma pa-etch panji panyuma pa-kuŵika kuti ŵawuskemo photoresist, vyakupangika na etch, na vyakufipirwa vya visulo pamanyuma pa kupangika kwakukolerana.

5. Kupakira Kwapachanya

Kupangiska kuti wafer-kutozga msinkhu pambere mundaŵike panji kuŵika pamoza mu mapaketi gha 2.5D/3D IC, kukhozgera kuti palije vyakufipiskika -vyakukhwaskana vyakugomezgeka.

6. Kupanga vya magesi

Iwo ŵakugwiliskira ntchito pakupanga maselo gha zuŵa kuti ŵatozge silicon substrates, kukhozga mtundu wa malo kuti ungweru uŵe wakunozga na kusintha nkhongono.

 

Katundu

 

Vinthu vyakuwoneka

Vinthu vyakuzirwa

Kutozgeka

＞99.99%

Unandi

2.2g/sentimita3

Kuwonekera

＞90%

Kulimba kwa Mohs

5.5--6.5

Malo ghakusintha

1280 digiri

Kufeweska Mfundo

1750 digiri

Nthowa yakuwotchera

1250 digiri

Kutentha kwapadera (20 - 350 digiri )

670J / kilogalamu. digiri

Kuchitiska kwakutentha (20 digiri)

1.4W/m digiri

Kutentha kwakutentha (w/mk,1000 digiri)

1.0-1.2

Indeksi ya kugaŵikana

1.4585

Coefficient ya Kukura kwa Kutentha

5.510 -7cm/sm. digiri

Kutentha kwakutentha -

1750--2050 digiri

Kutentha kwa Uteŵeti kwa nyengo yifupi -

1450 digiri

Kutentha kwa nyengo yitali -

1100 digiri

 

Katundu wa Makemiko

Vinthu vyakuzirwa

Kulimbana na asidi

Asidi wankhongono (kupaturako HF), alkali wankhongono, yankho la vyamoyo

Kutentha kwakukulu Kulimbana na dzimbiri

Wachita makola

Vinthu vyambura kutowa vya visulo

<5 ppm

 

Katundu wa magesi

Vinthu vyakuzirwa

Kukana

7107Ω.cm

Nkhongono ya vyakutetezgera

250~400kv/sentimita

Kusintha kwa magesi

3.7~3.9

Kuyamwa kwa magesi

＜410-4

Kutaya kwa magesi

＜110-4

 

Katundu wa Makina

Vinthu vyakuzirwa

Nkhongono zakufinyikizga

1100MPa

Nkhongono zakukhota

MPa

Nkhongono ya Tensile

48MPa

Chiŵerengero cha Poisson

0.14~0.17

Modulus wa Young

72000MPa

Kudumula Modulus

31000MPa

 

Nthowa zakutozgera

 

Kutozga mwakubika mu maji:

Ŵikani wafer mu boti lakutozga, ndipo pamanyuma muŵike boti lakutozga mu maji ghakutozga, ndipo musazgireko kukhwaskana pakati pa maji ghakutozga na malo gha wafer mwa kukwezga boti la wafer kuti litozgeke makora.

 

Kutozga na spray:

Yimilirani boti lakutozga mwakunyoloka mu chipinda chakupopera, ndipo gwiriskani ntchito nozzle kuti mupope maji ghakutozga pa wafer kuti muwuskemo vinthu vyakufipirwa. 

 

Kuzirwa kwa kutozga maboti:

  • Kuwoneseska kuti wafer wakutowa: Pa malo ghakutowa gha wafer nkhwakuzirwa comene kuti ŵapange vipangizo vya semiconductor, ndipo boti lakutozga likuwovwira comene pa kutozga.
  • Kuwoneseska kuti vipangizo vya semiconductor vikugomezgeka: Kuwoneseska kuti vipangizo vya semiconductor vikugomezgeka na kuchepeska viheni ivyo vikupangika mwa kuwuskapo vinthu ivyo vikufipiska pa charu.
  • Kupangiska kuti vipangizo vya semiconductor viŵe viwemi: Kupangiska kuti vipangizo vya semiconductor viŵe vyakutowa, mwakuti vipangizo vya semiconductor viŵe vyakutowa.

Tag yakutentha: boti lakutozga wafer la quartz, China ŵakupanga boti lakutozga wafer la quartz, ŵakupeleka vinthu, fakitare

Iwe Ungatemwaso

Kugula Mavibumba