Nthowa yakupangira Vinthu Vyakunozga

Nthowa ya tekinoloje na ndondomeko ya tekinoloje.
Kupereka vinthu vyakukura na vyakuŵikamo vya gasi: Kupereka vinthu vyakukura vya filimu yakulimbana na vithuzithuzi, nga ni SiO mu vinyake, uku vikupereka magwero gha gasi agho ghakuyana na vinthu vyakukura, nga ni SiH ₄, N ₂ O, na N ₂ mpweya wakufumira ku malo ghanyake.
Kupanga kwa anti dress gaint: Gwiliskirani nchito vinthu vyakuyana waka kuti mupange vigaŵa viŵiri vyakususkana na filimu yakulimbana na vithuzithuzi pa chigaŵa cha chigaŵa chapasi. Layer ya substrate yingaŵa na SiO layer, Si layer, na chigaŵa cha kuyamwa mu ndondomeko mwakuyana na umo mafilimu ghakukulira. Kutora viŵiri {{{{{zim}} grafler ayer ya gaprion layer (kwamba kwa anti drivetion gawo na chigaŵa chachiŵiri cha anti kuwoneska) nga nchiyelezgero, chikupangika na ndondomeko ya kukura kwa epitaxial (nga ni plasma yakukhozgeka na kemiko yakuŵika mtundu wa kemiko PECVD). Nthowa zakudunjika zili nga ni izi:
Kunozga kwa substrate: Pamanyuma pa ndondomeko ya kutozga semiconductor pa chigaŵa cha pasi, ŵikani chigaŵa cha substrate pa vipangizo vyakuŵikapo CVD.
Vinthu ivyo vikuŵikika mu vigaŵa vya parameter: Kulaŵilira kutentha kwa electrode kwa vipangizo vya CVD ku 200-300 degreen na kutentha kwa electrode kwapasi kufika pa 250-350℃.
Kukura kwa chigaŵa chakwamba cha kuwoneska: Sinthani vigaŵa vyakwamba vyakuŵikapo vya vipangizo vya CVD, kusazgapo chiŵelengero chakwamba cha kuseŵera kwa SiH ₄, N ₂ O, na N ₂, nkhongono ya gasi, nkhongono yakwamba ya RF ya vipangizo vyakuŵika CVD, nyengo yakwamba yakuwonda, nyengo, panji kusakanizga kulikose, panji kusakanizga kulikose, kukuzga chigaŵa chakwamba cha antipression na msinkhu wa msinkhu wa 10-200nm na index ya refractive ya 1.4-1.71.
Kukura kwa chigaŵa chachiŵiri cha kuwoneska: Sinthani vigaŵa vyachiŵiri vyakuŵikapo vya vipangizo vya CVD, kusazgapo chiŵelengero chachiŵiri cha msinkhu wa msewu wa SiH ₄, N ₂ O, na N ₂, nkhongono ya gasi, nkhongono yachiŵiri ya RF ya vipangizo vyakuŵikapo CVD, nyengo yachiŵiri yakuwonekera, na vinyake, panji kusakanizga kulikose, kukuzga chigaŵa chachiŵiri cha anti kuwoneska pa chigaŵa chakwamba cha antition, na msinkhu wakukhora wa . 10-200m na ​​mtundu wa refractive wa 1.4-1.71.

Uwemi wa tekinoloje
Pakugwiriskira ncito vinthu vyakuyana waka vyakukura, filimu yakulimbana na kughanaghanirapo yingakwaniska kucita vinthu vyakuyana waka vyakususkana na mafilimu ghakususkana na mafilimu ghakususkana gha vinthu vyakupambanapambana, kucepeskako mitundu ya magwero gha gasi agho ghakugwiriskirika ncito, kucepeska suzgo la ndondomeko yakunozgekera, na kusazgirako malo ghakunozgekera na malo ghakugwilira nchito cifukwa ca kusunga na kugwiliskira nchito magwero gha gasi pa nyengo yakunozgekera.

Nthowa yakupangira vinthu vyakupambanapambana vya SiO ₂ / TiO ₂ ₂ ₂ ₂

Nthowa ya tekinoloje na ndondomeko ya tekinoloje.
Kunozga vinthu vyapasi: Sankhani vinthu vyakuwonekera nga ni galasi, galasi la vyakumera, filimu ya polmimide, na vinyake, ndipo muchitenge munkhwala wakufumiskiramo mabala kuti muwoneseske kuti pali chinthu chakutowa na cha fuvu -} pa malo ghambura kanthu. Usange nchakukhumbikwa, single {{{{{rika}} panji kaŵiri - kupoliska kungachitika kuti ungweru utuŵiske.
Kunozga filimu precursor: tetraothoxysilane (TEOS) na tetrabutyty titanate (TBT) vikusazgikira ku ethanol iyo yili na NH ₄ OH mu chiŵelengero chinyake, ndipo vyakuchitika vikusungika pa 9-12 maora kuti musange ndondomeko yakuwonekera - gel system.
Kuphika na kucizga: dongosolo la gel la sol gel ilo lanozgeka likulembeka mwakuyana pa malo ghakuwonekera, na kuphimba spin, kupopera, kugeza, kugeza na mapulani ghanyake ghangagwiliskirika nchito. Pamanyuma pa kupenta, filimu ya hybrid SiO ₂/TiO ₂ ₂ precursor yikuŵikika mu uvuni kuti yichizgike na kuchimbizga wovwiri, kupanga chigaŵa cha multi-} chayer.
Kuphimba kwakuzungulira: Kuwerezgapo ndondomeko ya kuphimba na kuchizga m’paka apo nkhongono iyo mukukhumba ya kuwoneska yikusangika. Nyengo zakupambanapambana na ndondomeko zakupambanapambana zizamukhwaska umo mafilimu ghakususkana na vithuzithuzi ghakuchitira, ndipo kafukufuku na kukhozga vikukhumbikwa.
Nthowa yakuchizgira: Kuti ŵasazgireko kukhalilira na kukhazikika kwa filimu yakulimbana na vithuzithuzi, chigaŵa cha hydrophilic na hydrophobic polymer chingaphatika pa malo gha filimu yakulimbana na kuwoneska.

Nthowa yakupangira vinthu mu filimu yakulimbana na vithuzithuzi vyakuwoneska
Nthowa ya tekinoloje na ndondomeko ya tekinoloje.
Filimu ya infrared yakulimbana na kughanaghanirapo yikuthemba pa silicon ndipo yikuŵikika na mafilimu ghakususkana na vithuzithuzi vyakususkana na vigaŵa vyose viŵiri vya chigaŵa ichi. Nthowa ya mafilimu ya filimu yakulimbana na vithuzithuzi yikujiyimira paŵekha nga ni (HL) ^ S, apo H yikwimira chigaŵa cha Si, L yikwimira chigaŵa cha SiO, S yikwimira nyengo ya chigaŵa cha HL, ndipo mtengo wa S ni nambala pakati pa 3-6. Si layer ya Si ili pafupi na chigaŵa cha chigaŵa, ndipo chigaŵa cha SiO chili pa mtunda. Nthowa yakupangira vyakuvwara yikugwiriskirika nchito kuti ŵaŵikepo chigaŵa cha filimu iyi ku chigaŵa cha chigaŵa, ndipo filimu ya SiO ni chigaŵa cha kuwaro chomene, icho chili na kukhora kwa pachanya ndipo chikukhumbikwira yayi chigaŵa chinyake chakuvikilira. Kuwonjezera apo, SiO ili na index ya refractive, iyo yingapangiska kuti ŵanthu ŵaleke kughanaghanira chomene ndiposo kuti ŵasazgireko kutumizgika kwa infrared.

Nthowa yakupangira vinthu vyapachanya- temperature yikukana CO ₂ laser yakususkana na filimu
ndondomeko ya kupanga vinthu
Kusungunuka kwa vinthu ivyo vikusungunuka pambere vindamazgike: Kuyaniska pambere ŵandasungunuke kukuchitika pa yttrium fluoride, calcium yttrium fluoride, na zinc selenide ya mafilimu kuti ŵafumiske vinthu vyambura kutowa mukati mwa vinthu vya mafilimu.
Layer ya filimu ya deposition: yttrium fluoride layer yakwamba, yttrium fluoride layer, zinc selenide layer, na layer yachiŵiri ya fluoride ya yttrium vikuŵikika mwakulondezgana pa chigaŵa cha zinc selenide gawo na msinkhu wa 3 ± 0.1mm na vacuum evaporation. Malo ghakubenekelera gha chigaŵa chilichose ghali pafupifupi 95% ya malo gha pa charu chapasi gha chigaŵa cha chigaŵa chapasi. Vinthu ivyo vikukhumbikwa pa thupi pa chigaŵa chilichose ni ivi: msinkhu wa thupi wa chigaŵa chakwamba cha fluoride fluoride ni 95-100 nanometers; Kukura kwa thupi kwa ytterbium calcium fluoride layer ndi 860-870 nanometers; Kukura kwa thupi kwa zinc selenide layer ni 240-250 nanometers; Kukura kwa thupi kwa chigaŵa chachiŵiri cha yttrium fluoride ndi 95-100 nanometers.
 

Uwemi wa tekinoloje
Membrane yakunozgeka ya kughanaghanirapo yili na kapangikiro kambura kusuzga ndiposo kapangilo kakutowa. Kusakanizga kwa vigaŵa vinayi kuli na mikhaliro yakulimbana na kutentha kwakukwana, kutumizga kwakukhora, chigaŵa cha membrane chakukhora, kusuzgika maghanoghano pakati pa vigaŵa vya membrane, na kuphyoka kwa vigaŵa vya membrane yayi. Iwo ungakwaniska kugwira ntchito kwakulutilira kwa vigaŵa ivyo vili pasi pa nyengo zakutentha chomene, ndipo vinthu ivyo vikugwiriskirika nchito mu chigaŵa chilichose ni vya radioactive yayi, ivyo vikunanga yayi awo ŵakugwira ntchito na chilengiwa.